靶材尺寸为:
矩形靶材:L800mm×W200mm×H 客户自选厚度。(为(wei)国(guo)际上同(tong)类(lei)产品最大尺寸)
圆形(xing)靶材:Ф460mm×H 客户(hu)自选(xuan)厚度(为国际同类产品最大尺寸)
密度 ≥ 99.9%TD,
纯度(du) ≥ 99.995%
以上三个指(zhi)标都为国(guo)(guo)内(nei)产品最高水平(ping),国(guo)(guo)际先进水平(ping)