靶材尺寸为:
矩形靶材(cai):L800mm×W200mm×H 客户(hu)自选(xuan)厚度。(为国(guo)际(ji)上(shang)同类(lei)产(chan)品最(zui)大尺寸)
圆形靶材:Ф460mm×H 客(ke)户自选厚度(为国际同类产品最大尺寸)
密度 ≥ 99.9%TD,
纯度 ≥ 99.995%
以(yi)上三个指标都为国(guo)内产品最(zui)高水平,国(guo)际先进水平