靶材尺寸为:
矩形(xing)靶材:L800mm×W200mm×H 客户(hu)自选厚度。(为国际上同类产品(pin)最大尺寸(cun))
圆形靶材:Ф460mm×H 客(ke)户自选厚(hou)度(为国际同类产品最大尺(chi)寸)
密(mi)度 ≥ 99.9%TD,
纯度 ≥ 99.995%
以(yi)上(shang)三个指标都为国内产品最高(gao)水平(ping),国际先进(jin)水平(ping)