靶材尺寸为:
矩(ju)形靶(ba)材:L800mm×W200mm×H 客户自选厚度。(为国际上同(tong)类产(chan)品最(zui)大(da)尺(chi)寸)
圆形靶材:Ф460mm×H 客户自选厚度(为国(guo)际同类产品最大尺(chi)寸)
密度 ≥ 99.9%TD,
纯度 ≥ 99.995%
以上三个指标都为国内产品(pin)最(zui)高(gao)水平(ping),国际先(xian)进水平(ping)